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光電探測系統(tǒng)
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微納光電成像測試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段,通過不同波長激光進行探測,分析表征光電子器件的短路電流分布,表面缺陷, 反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像,分析各種參數(shù)的平面均勻性,為光電器件的結構優(yōu)化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)樣品產生光電流,光電流信號通過探針引出至電流源表,再通過軟件讀出。
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